类金刚石碳基薄膜材料的结构与功能化设计
编号:548
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更新:2025-04-28 16:46:47
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特邀报告
摘要
轴承、齿轮、动密封等核心部件直接影响航空、航天、核电等领域战略装备产业安全与发展,其表界面性能不足是制约寿命和可靠性的瓶颈。目前,采用离子能量调控构筑功能涂层技术在解决零部件服役过程中表界面失效问题发挥着越来越重要的作用。基于此,团队经过多年的研究与积累,提出了电场与磁场正交耦合调控等离子体密度与离子能量的磁控溅射沉积新技术,研制CrN-MoS2和a-C:H:WC宽温域自润滑涂层体系,实现室温~750℃下优异的耐磨自润滑性能,满足宽温域范围耐磨和自润滑需求;开发了电场-磁场互补增强约束带电粒子位形实现全方位等离子体增强化学气相沉积新技术,实现等离子体的位形、密度与离子能量的精确调控,解决复杂型面零件表面强化层性能提升受限和均匀性差的问题;发展了弧光电子流增强等离子扩渗和真空气相沉积复合技术,结合电场和磁场互补增强提高等离子体密度与离子能量,研制出高载高硬和耐磨自润滑的碳基涂层,成功配套重点型号应用;研发了空心阴极效应的电场调控等离子体密度技术,通过电源参数设计和工艺优化,实现多种金属基材的深内孔、长管道内表面耐磨耐腐蚀防护涂层制备;掌握了基于电场与磁场耦合调控等离子体密度与离子能量的涂层设备设计方法,开发电场与磁场正交耦合增强高密度等离子体磁控溅射沉积、电场-磁场互补增强约束带电粒子位形的全方位高密度等离子体扩渗与沉积设备,并与多家企业合作带来经济效益。
关键字
离子能量调控,苛刻工况,润滑防护,涂层/薄膜
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